電子行業潔凈車間的靜電防護問題電子行業潔凈車間的靜電防護問題
? ? ?電子相關行業潔凈車間中由于靜電引起的事故屢有發生,因此潔凈車間的防靜電能力如何已成為
評價其質量的一個不可忽視的方面。?
所謂靜電,是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負<一)電荷等量的均勻的電中性狀態,而使電荷過剩,
物體呈帶電狀態,由于這些電荷平時是不流動的,故稱靜電。
? ? ? ? ? ? ? ? ? ??
?
在潔凈車間內靜電導致的事故有以下幾方面
1.靜電引起的靜電電擊,引起人的不安全和恐懼感,并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒,由摔倒又致傷);
?
2.靜電放電引起的放電電流,可導致諸如半導體元件等破壞和誤動作,例如將50塊P- MOS電路放在塑料
袋內,搖晃數次后,與非門柵極嚴重擊穿者計39塊,失效率競達78%,這是因為半導體器件對靜電放電十
分靈敏;
?
3.靜電放電產生的電磁波可導致電子儀器和裝置的雜音和誤動作;
?
4.靜電放電的發光可導致照相膠片等感光破壞;
?
5.靜電的力學現象可導致篩孔被粉塵堵塞,紡紗線紛亂,印刷品深淺不均和制品污染;
? ? ? ? ? ? ? ? ??
?
? ? ? ? 靜電事故的產生主要在于靜電的產生和積累,而氣流的流動,氣流和管道、風口、過濾器等摩擦,人
體和衣服的摩擦,衣服之間的摩擦,工藝上的研磨,噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作,所以
這些都可能產生靜電,在一般情況下,越是電導率小的非導體(絕緣體),由于電荷產生后不易流動,因
此表現為越容易帶電。靜電問題所以在潔凈車間中特別嚴重,是因為不但在潔凈車間中具備前述產生靜電
的多種工藝因素,而且因為潔凈車間中的許多材料如塑料地面、墻面,尼龍、的確良等工作服都有很高的
電阻率,都容易產生靜電和集聚靜電,在潔凈車間的靜電災害未被重視以前。