發(fā)布時(shí)間:2023-06-25 21:41:38 人氣:2903
???規(guī)定無(wú)塵室潔凈區(qū)的控制指標(biāo)和檢測(cè)方法,有效的控制十萬(wàn)級(jí)和三十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)環(huán)境的潔凈度,滿足生產(chǎn)環(huán)境的要求。
2 范圍
???本規(guī)程適用本公司十萬(wàn)級(jí)和三十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)環(huán)境的潔凈度檢驗(yàn)。
3 檢驗(yàn)方法
3.1 檢驗(yàn)項(xiàng)目
???溫度、濕度、壓差、風(fēng)速(換氣次數(shù))、塵埃粒子數(shù)、菌落數(shù)
3.2 溫度、濕度
3.2.1 要求
???十萬(wàn)級(jí)/三十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)溫度(18-26)℃,相對(duì)濕度(45-65)%
3.2.2 儀器與設(shè)備
???溫濕度計(jì)
3.2.3 操作方法
???目測(cè)溫濕度計(jì)。
3.2.4 測(cè)定頻次?
1次/班。
3.3 靜壓差
3.3.1 要求
潔凈室與室外壓差≥10Pa,潔凈室與非潔凈室≥5Pa不同級(jí)別潔凈室之間≥5Pa。
3.3.2 儀器與設(shè)備:補(bǔ)償式微壓計(jì)
3.3.3 操作方法
???用補(bǔ)償式微壓計(jì)測(cè)試各室的靜壓力,由兩室靜壓力之差,為靜壓差。
3.3.4 測(cè)定頻次:1次/月
3.4 換氣次數(shù)
3.4.1 要求
???十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)換氣次數(shù)>15次
三十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)換氣次數(shù)>12次
3.4.2 儀器與設(shè)備:熱球式電風(fēng)速計(jì)。
3.4.3 操作方法距風(fēng)口下25cm處測(cè)量
3.4.3.1 用風(fēng)速計(jì)風(fēng)速,采樣點(diǎn)為風(fēng)口的四個(gè)頂角及中心位置(不少于5點(diǎn))。計(jì)算5個(gè)點(diǎn)風(fēng)速平均值。為一個(gè)風(fēng)口的風(fēng)速。
3.4.3.2 換算公式:
??????????????????∑(高效風(fēng)口風(fēng)速×高效風(fēng)口面積)
????換氣次數(shù)=?──────────────────
??????????????????????????????被測(cè)間體積
3.4.4 測(cè)定頻次:1次/月
3.5 塵埃粒子數(shù)
3.5.1 要求
十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)塵埃粒子數(shù):?≥0.5μm:≤3500個(gè)/L
?????????????????????????≥5.0μm:≤20個(gè)/L
三十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)塵埃粒子數(shù):≥0.5μm:≤10500個(gè)/L
≥5.0μm:≤60個(gè)/L
3.5.2 儀器與設(shè)備:塵埃粒子計(jì)數(shù)儀
3.5.3 采樣點(diǎn)
根據(jù)面積,要求最少采樣點(diǎn)見(jiàn)下表:
面積,(m2) |
潔凈度級(jí)別 |
||
10000 |
100000 |
300000 |
|
≤10 ≥10~<20 ≥20~<40 ≥40~<100 ≥100~<200 ≥200~<400 ≥400~<1000 ≥1000~<2000 ≥2000 |
2 2 2 4 10 20 40 100 200 |
2 2 2 2 3 6 13 32 63 |
|
3.5.4 操作方法
用塵埃粒子計(jì)數(shù)儀在高度1米水平面上的位置采樣,每層采樣點(diǎn)不少于5點(diǎn),每個(gè)采樣點(diǎn)采樣次數(shù)不少于5次。采樣點(diǎn)見(jiàn)附件1。??
3.5.5 換算公式
?????????????5次測(cè)量數(shù)的總和
塵埃粒子數(shù)=?─────────
???????????????????5
3.5.6 測(cè)定頻次 :1次/季
3.6 菌落數(shù)
3.6.1 要求
??浮游菌?十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)含菌濃度≤500個(gè)/m3
??沉降菌?十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)含菌濃度≤10個(gè)/皿
??????????三十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)含菌濃度≤15個(gè)/皿
3.6.2 檢測(cè)方法
按《微生物檢驗(yàn)規(guī)范》的規(guī)定進(jìn)行。
3.6.5 測(cè)定頻次:浮游菌?1次/季;沉降菌?1次/周
4 測(cè)定條件
4.1 當(dāng)新潔凈區(qū)投入使用前,進(jìn)行一次靜態(tài)環(huán)境監(jiān)測(cè),監(jiān)測(cè)時(shí),潔凈區(qū)內(nèi)所有物品均應(yīng)到位,檢測(cè)區(qū)內(nèi)只留檢測(cè)人員,檢測(cè)結(jié)果應(yīng)符合3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1條的要求。如不合格應(yīng)重新對(duì)凈化系統(tǒng)進(jìn)行檢查,查找原因,進(jìn)行整改后,再進(jìn)行檢測(cè),合格后方可投入使用,否則不得進(jìn)入生產(chǎn)。
4.2 所有在用潔凈區(qū),按本規(guī)程的要求進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢測(cè),檢測(cè)結(jié)果應(yīng)符合3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1條的要求。如不合格由技術(shù)品質(zhì)部告知生產(chǎn)部,通知超標(biāo)車間停產(chǎn),由生產(chǎn)部、技術(shù)品質(zhì)部、生產(chǎn)車間組織人員查找原因,進(jìn)行整改后,再進(jìn)行檢測(cè),合格后方可投入使用。
附件1?塵埃粒子檢測(cè)點(diǎn)
附件2?沉降菌檢測(cè)點(diǎn)
附件3?浮游菌檢測(cè)點(diǎn)
原文